目的

Piranha Solution用于洗去油镜的油、去除脏物

简要步骤

• 浓硫酸：双氧水（30%）=3:1 （1份5ml）
• 双氧水入浓硫酸
• 125 ℃热板加热至不再冒气泡
• 155℃热板加热至不再冒气泡
• DI Water rinse

注意事项

• 在无机通风厨进行
• 操作者带防酸碱手套
• 操作者带护目镜

具体步骤

1. 由于该溶液会与有机物剧烈反应，放热有可能引起爆炸，因此确保：
   • 样品较清洁，没有大量有机物
   • 样品表面没有丙酮、ipa等有机溶液的残留
   • 使用容器是专门用于做Piranha 溶液的容器
2. DI water清洗烧杯、量筒、滴管、玻璃棒，并用氮气吹干，或者无尘纸擦干
3. 用量筒取15ml的浓硫酸 （用吸管吸取，防止倾洒溶液）倒入piranha专用烧杯
4. 清洗量筒、吸管（内外都要清洗，N2吹干）
5. 用吸管吸取5ml双氧水
6. 双氧水用玻璃棒引流缓慢倒入浓硫酸，注意搅拌（此时溶液温度会升高，所以速度要慢）
7. 配好的溶液静置使温度降低（5min左右）（不要用铝箔纸封住容器，因为溶液会放热和放出气体）
8. 样品放入溶液（正面朝上）
9. 溶液放在热板上，125摄氏度加热，此时会有气泡产生
10. 气泡不再产生时，155摄氏度加热，至气泡不再产生
11. 将溶液从热板拿下来，静置1至温度降到室温，取出样品
12. 将溶液稀释10倍（酸入水），倒在专门的Piranha废液瓶。