操作流程

1. 记录仪器参数
   • 各个E-beam Ion-beam的参数、chamber的真空度、SCE/Pt的使用时间
2. 装样
   • Vacuum-Vent 结束之后打开样品仓
   • 装样：不方便装样时将R角度转到90°或者110°，装样完毕之后测量高度，确保探头不会被磕碰
   • 将样品台推入，点击pump的时候用手按一下

3. Pump的过程中可以点击Nav-Cam对于样品台拍图和mapping

4. 激活电子束窗口，点击Beam On，解除暂停，开始实时观测

5. 双击左下角的位置来进行对于样品台的移动，在左上角的E-Beam窗口中使用模式一观察/放大/调焦/调像散 （调节焦距：鼠标右键左右拖动 / 控制台旋钮；调节像散：shift+鼠标右键上下/左右调节 / 控制台旋钮）

6. 调焦准确之后，将样品台上升z=5mm（向上计算），link z，然后再调节一下焦距，再将样品台z=4mm（向下计算）

7. 找水平，拉一条水平线调整水平（程序辅助调整R）

8. 找一个标志点（一般为十字叉的中心），先用T转动一个小角度（eg. 5°），然后调整z up/down使得标志点回到中心，然后将T转回0°，确认标志点不移动，再转动到52°，之后再调整z up/down使得标志点回到中心。

9. 找到要观察的部分，放大/调焦/调像散，点击尺子测量，注意测量尺寸的类型。F5键可以全屏观察。保存图片，到Desktop-Shared data on …