【工作笔记】111面样品

This is the sample log

样品0：张慧丽做的，已经做了SIL

样品1：普通操作

样品2：退火 稳定NV 900度 5hrs

样品3：ICP 把strain的层磕掉 diamond-1 ICP 1000 RF 120 O2/Ar 220nm/min -> 20min

2017年3月23日

• 三块样品一块镀铝、一块甩胶、一块未操作，用丙酮洗去胶，用S1805显影液洗去铝。三块样品依次放好，显微镜拍照并且存图。
• 2号样品退火900度，五个小时。
• 三块样品Piranha清洗
• 3号样品ICP

Till 2017年3月29日

• 三块样品FIB chipname and marker

2017年4月20日

• 第一块样品： 定位完成
• 111-2样品退火850度，18小时