Procedure

样品放置及点金颗粒

1. 打开EBL的Loadlock，取出样品托盘，用氮气枪吹干净样品托盘。将托盘放置到事先铺好的一张纸上。
   • 托盘结构：样品夹子、法拉第杯（背面有束流引出点）、背面有石英脚
2. 用塑料镊子把样品放置在托盘上，用托盘上的夹片夹住样品左上角。样品的左下方之后需要建立坐标系。夹片夹过的地方是不能使用的。
3. 摇匀金颗粒溶液，用牙签粘取金溶液。用金颗粒在样品左下角大约（0.5mm,0.5mm）处做标记，静置晾干一会。
4. 使用氮气枪吹样品及样品盘后放回，注意检查是否放稳。托盘一定要放到位，放置之后上下左右移动确认放好，不然会卡。关上舱门。
   • 注意从干净的地方往脏的地方吹；先把氮气枪中放出一部分气体之后再吹。

软件操作

1. 打开两个软件。在右边软件中，点击Load Sample，初始化完毕之后，会弹出若干对话框：Enter Sample Name / Sample In > OK / Reset Coordinate System > YES / 设置到上一次参数 >NO（这些参数设置用处不大）
2. 在右边的软件中，Column Control选项卡中，选择60um光阑的30kV的选项。在左边软件中修改光阑到120um。
   • 电压高时分辨率高，但启动速度慢。电子枪选项双击可出现菜单，菜单中Signal > Detector选项可选择探头，其中，InLens为二次电子探头，与样品夹角小；se2为二次电子探头，电压较高时（>20kV）时使用；TV为光学探头。右上角Activate之后可打开电子枪，电子枪开始会不稳。
3. 修改写场：在右边软件中，Writefield Control > Writefield Manager选项卡中，修改写场至1000um。
4. 移动样品台：在Adjustment > Stage Control > Command Line中输入17.8z，移动样品台至工作距离附近。
5. 打开导航图：File > Open Wafermap(…)，打开150mmush.wfo文件。
6. 测定电子束流：在Adjustment > Stage Control > Position中选择FaradayCup，然后单击Go。移动完毕之后，调整放大倍数到合适数值之后，点击上方快捷按钮打开电子束枪。调整并且放大至法拉第杯中央之后，在Patterning > Beamer Current中点击Measure，测定并记录束流值。
   • 测定束流可多测几次，观察束流稳定到一定数值后方可使用，正常情况下，应该只有后两位有波动。
   • 确定法拉第杯中心的时候，借用中心放射标尺进行对准。
   • 点击手柄上方的X、Y可以对样品台的移动进行操控。
   • 在正常的模式下，鼠标左键调整缩放，右键调整工作距离。调整像散的模式下，左键调节像散，右键为工作距离。
7. 沿着样品夹子 > 样品左边缘 > 样品左下角的顺序找到样品，然后将左下角边缘作为参考点建立一个Global UV坐标系，在Origin Correction中点击Set Current UV position to 0下面的Adjust。沿着样品下边缘找到一个点，在Angle Correction中设置为P1，再沿着样品左边缘找一个点，设置为P2。
8. 在点金颗粒的位置附近，先缩小找到金颗粒溶液的水渍，然后放大，找到一个金颗粒，进行聚焦和像散的调节。
   • 被电子束曝光之后的部分就不可以使用了。
   • 找的过程尽量迅速。
   • 可以先找较大的杂质进行初步的聚焦像散调节。
   • 长时间被电子束照射过的地方左上角会有无定形碳的小圆点，这是由于碳在照射中被输运到了样品表面。
9. 建立三点坐标系：从样品左下角开始，相对位移(1.15mm, 1.15mm)，到达大十字附近，找到第一个大十字marker，设置三点坐标系Adjustment > Adjust UVW > 3 Points中设置P1。然后通过相对位移的方式，找到第二点，设置P2。在找到第三点，设置P3。
10. 写场矫正：File > New PositionList，然后将画好的图拖入其中，选择63图层Mannual Marks。右键Properties，检查设置，然后点击F9开始矫正写场。先用边长50um的方块矫正，之后再用边长30um的方块矫正。
    • 矫正方法为，按住ctrl，然后用鼠标将十字叉拉到标志点，然后点击continue，完毕之后，点击accept。
11. 删除原来PositionList中的文件，将需要曝光的文件拖进来，选择相应的图层。
12. 计算曝光剂量：在Patterning选项卡中，点击小计算器，然后检查并设置相应曝光剂量。
13. 检查，所有的内容再检查一遍
    • 检查刻蚀时间
    • 检查图形和图层
    • 检查剂量
14. 开始刻蚀：在PositionList中点击相应的任务，右键 > Scan。
15. Unload样品：点击Unload Sample
16. 登记：抄写相应参数，关闭相应的软件和显示器。